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同轴双自由度集成、纳米级精度、全气浮无摩擦 —— 国奥科技自主研发的ZT双轴精密转台（GAS-ZT-10-120），打破国际巨头对高端精密运动部件的垄断，为半导体及高精密制造领域提供 “自主可控” 的高端国产化解决方案。

一、核心技术架构
单动子双自由度+全气浮，根除精度损耗

GAS-ZT-10-120 搭载国奥科技自研的单动子双自由度电机解耦技术，实现单个动子同步输出直线（Z轴）与旋转（T轴）运动，双磁场无耦合干扰；配合全气浮轴承设计，替代传统机械接触，彻底消除多轴同步控制带来的精度丢失和累积误差，达成Z轴升降与T轴旋转的纳米级联动控制。

【核心技术特性】
单动子直线+旋转双轴复合运动；
双轴纳米级精度；
全气浮设计，全域无摩擦、零磨损；
高刚性结构，抗倾覆能力强；
模块化扩展，支持XYZT多轴联动；
紧凑设计集成大推力、大转距、高负载；
符合ISO 14644-1 Class 5以上半导体洁净室标准；

二、双轴性能
纳米级精度+高动态响应

Z轴（直线定位）
全气浮：无齿槽干扰，运行平滑；
气动平衡系统：有效防止电机过热并有效避免冲击；
高分辨率光栅编码器：确保纳米级定位与重复位置精度；

T轴（旋转分度）
360°连续旋转：全气浮无间隙、零空回；
直驱力矩电机：最大加速度达100rad/s²，毫秒级快速响应；
低扰动设计：保障精度稳定性、提升工艺良率；

三、核心应用场景
覆盖高精密制造关键环节

晶圆制造
晶圆取放、对准过程中每一次精准定位，都能大幅降低返工率和不良品率。

检测领域
晶圆缺陷检测、膜厚测量时，稳定的运动状态让检测数据更精准。

光学应用
光学耦合环节中，双轴协同可快速调整光路位置，提升耦合效率与稳定性。

精密加工
各类高精密零件加工时，纳米级控制让加工精度再上一个台阶，满足高端制造需求。

四、客户技术支撑
全链路保障高精密应用

定制化运动解决方案
基于客户工艺拆解运动参数（如精度、加速度、负载等），输出从控制算法到硬件集成的专业定制方案。

全生命周期技术保障
覆盖安装调试 - 运维 - 升级迭代，专属技术团队响应时效＜6小时，确保设备长期稳定运行。

半导体级洁净适配
从材质选型到结构设计，确保设备在严苛洁净场景下合规运行、无二次污染。