浙江博开机电科技有限公司 Zhejiang Bwokai Electromechnical Technology Co., Ltd.

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浙江博开机电科技有限公司
Zhejiang Bwokai Electromechnical Technology Co., Ltd.

浙江博开机电科技有限公司创立于 2009 年 3 月,是国家级专精特新“小巨人”企业与高新技术企业。公司在超低温制冷机、低温真空泵方面突破了关键设计技术和制造工艺难题，解决了大量卡脖子问题，实现核心技术及部件的自主可控，研制成功应用于不同领域的系列化的低温制冷机、不同口径的低温真空泵等产品。现有低温泵系列包含200-1800型号，配套的GM制冷机系列产品已开发4K、10K、70K等型号，极限低温可达-271℃，极限真空度可达10-9Pa.我司自主研发的智能型超高真空冷泵，不仅能快速建立并稳定维持10⁻⁷Pa级别的超高真空环境，该产品已成功应用于国内多家主流半导体晶圆厂，在PVD、离子注入等核心装备上实现了国产化替代。致力于将超低温、超高真空技术在半导体及泛半导体、核技术、高端仪器、光学镀膜等领域中应用落地并形成产业化的高科技企业。公司现有员工100+，管理团队具备理、工、管专业背景，在超低温、超高真空行业具有16年以上研发、生产、市场、供应链管理等范围的丰富经验。研发人员人数占比超30%。

展位号： W2.2866

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电子制造服务

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航空航天

工业电子

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浙江博开机电国产低温真空泵领域的破局者与领航者

2025年12月30日

浙江博开机电科技有限公司（简称“博开机电”）作为国产低温真空泵领域的代表性企业，通过技术突破与市场深耕，正逐步打破外资垄断，成为行业破局者与领航者。以下从技术、应用、市场及行业地位等方面综合分析其发展现状：一、技术实力与产品优势博开机电专注于低温真空泵的研发与生产，其产品利用10K（-263℃）低温制冷机技术，通过低温冷凝和吸附原理实现无油高真空环境。公司已形成IG系列和DZB系列两大产品线，具备年产500台低温泵的规模化生产能力。在半导体制造领域，其定制化产品可为PVD物理气相沉积、离子注入等关键工艺提供超高真空环境，助力国产化替代。二、核心应用领域博开机电的产品广泛应用于以下高精尖领域：半导体制造：为芯片制造中的真空环境提供核心支持，如离子注入、镀膜等环节。前沿科研：服务于量子计算机、可控核聚变、空间卫星动力系统等研究，提供接近绝对零度的超低温环境。特种科技与真空镀膜：在显示面板、新材料研究等领域发挥重要作用。三、市场竞争力与行业地位国产化先锋：在半导体设备“去美化”背景下，博开机电与安徽万瑞等本土企业共同推动供应链自主化，逐步替代外资品牌（如日本爱发科、CTI）的市场份额。技术差距与突破：尽管国内企业整体在抽速、能耗等指标上仍落后于国际领先水平（如日本住友），但博开机电通过持续研发，已具备大抽速、大容量产品的生产能力，满足半导体行业对氢气、氩气等气体的高效抽气需求。行业认可度：公司被列为中国低温泵市场主要生产商之一，与中船重工鹏力、安徽万瑞等企业共同占据国内市场份额。四、未来发展方向博开机电积极响应国家创新驱动战略，计划通过优化压缩机技术、提升智能化水平（如变频控制算法）进一步缩短降温时间，增强产品在复杂工况下的适应性。同时，公司参与国际真空展览会（如IVE2025），积极拓展全球市场。总结：博开机电凭借技术积累与国产化布局，在半导体、科研等高端领域逐步确立竞争优势，成为推动中国低温真空泵行业发展的关键力量。未来需持续突破核心技术，缩小与国际巨头的差距，进一步巩固其领航者地位。

2025年12月30日

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国产替代新标杆！博开低温泵：硬核技术破解高端真空领域“卡脖子”难题

2025年12月30日

在半导体7nm先进制程的离子注入车间，在深空探测器件的真空环境模拟实验室，在OLED膜层制备的高洁净生产线上，真空度与低温环境的协同掌控，是决定产品良率与实验精度的核心命脉。长期以来，高端低温泵作为实现极低温真空环境的关键装备，一直被国外品牌垄断，国内企业不仅要承受单台数百万元的高昂采购成本，更要面对核心技术封锁、售后响应滞后、定制适配困难的多重困境。直到浙江博开机电科技有限公司（下称“博开机电”）的崛起，这一被动格局被彻底打破——作为低温真空领域的国家高新技术企业，博开机电以十六载深耕之力铸就国产低温泵硬核实力，年产规模达500台，为中国高端制造与前沿科研注入可靠的“真空动力”。高端制造的升级之路，始终受困于“高端真空瓶颈”。在半导体集成电路制造中，腔室真空度若无法稳定维持在10⁻¹⁰ mbar级别，微小的气体分子就会导致芯片缺陷率飙升；在光电器件生产中，传统低温泵的油污染问题会直接破坏膜层纯度；在航天器件测试中，低温泵的可靠性直接决定太空环境模拟的精准度。更严峻的是，进口低温泵不仅维护成本高昂，其核心技术参数不透明、定制周期长的问题，严重制约了国内企业的技术创新节奏，成为高端制造领域亟待破解的“卡脖子”难题。破解行业痛点，自主创新是唯一出路。博开机电深谙此道，从创立之初便聚焦低温泵核心技术攻坚，构建起与高等院校、科研院所深度联动的产学研创新生态。凭借持续研发投入，企业累计斩获用于制冷机型低温泵的驱动结构、槽型吸附阵结构等13项核心专利，更研发出独具优势的内置式低温泵技术，构建起覆盖不同真空需求、适配多行业场景的完整产品矩阵，实现从标准型到定制化的全场景精准适配。博开低温泵的硬核实力，藏在每一项精准迭代的技术细节中。依托内置式结构设计专利，其制冷机与冷板组件直接固装于泵口法兰，舍弃传统泵壳设计，使泵口流导实现量级提升，同时通过内置加热棒实现快速再生，大幅提升作业效率；冷板组件采用百叶窗式结构设计，一级冷板与二级冷板呈特定角度精准排布，搭配镀银抛光层与低温胶粘活性炭，可实现7K~8K的深低温吸附，让真空度控制更精准。其中IG320型低温泵凭借全干式无油设计，从源头杜绝污染，在半导体7nm工艺中表现亮眼；DZB1250LN液氮辅冷型低温泵则以稳定的性能，成为航天模拟实验室的核心装备，完美适配极端环境下的真空模拟需求。相较于进口设备与传统产品，博开低温泵实现了“适配性、经济性、安全性”的三重跨越。依托核心专利技术，其能耗较传统扩散泵降低50%以上，维护周期延长至12-18个月，综合使用成本直降60%。在国内某头部半导体企业的7nm工艺生产线，博开IG320型低温泵连续运行365天无故障，将腔室真空度稳定控制在10⁻¹⁰ mbar级别，帮助企业年维护成本节省30%以上；在多家光电器件制造企业，其无油污染设计让OLED膜层良率提升显著，获得市场广泛认可。更值得关注的是，博开低温泵不仅解决了国产替代“从无到有”的问题，更实现了核心技术的自主可控，有效防范了供应链风险。全链条国产化生产是博开低温泵的核心竞争力之一。从核心部件的精密加工到整机测试校准，博开机电实现100%自主可控，彻底摆脱了对国外核心零部件的依赖。为解决国内企业“售后难、响应慢”的后顾之忧，企业打造了2小时技术响应、48小时上门维护的本地化服务网络，服务效率较进口品牌提升数倍。如今，凭借ISO 9001、CE等多项国际认证，博开低温泵已服务全球超百家企业与科研机构，足迹遍布真空镀膜、集成电路制造、平板显示、工业气体处理等多个关键领域，成为国产低温泵的标杆品牌。在双碳目标与高端制造升级的浪潮下，低温真空技术的创新永无止境。博开机电早已布局未来，在现有核心技术基础上，持续推进低温泵的性能迭代，聚焦更高效节能、更长使用寿命的技术突破，致力于为新能源、量子科技等新兴领域提供更具竞争力的真空解决方案。从打破国外垄断到引领国产升级，博开机电用十六载深耕诠释了“规范、超越”的企业精神。这款不断进化的国产“真空利器”，正以更精准的真空控制、更高效的节能表现、更可靠的稳定性能，为半导体、航天、新能源、科研等领域的技术突破保驾护航，让中国高端制造在核心真空装备领域拥有了更多话语权。当真空不再是限制，创新便有了无限可能。浙江博开机电，以国产低温真空科技之力，赋能高端制造未来，与全球企业共赴技术突破的新征程。

2025年12月30日

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