低温真空泵 | 慕尼黑上海电子生产设备展 productronica China

低温真空泵 | 慕尼黑上海电子生产设备展 productronica China 低温真空泵,Cryopump,电子制造服务,慕尼黑上海电子生产设备展 productronica China 低温真空泵（又称低温泵、冷泵、冷凝泵）是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的积聚式真空泵，是无油高真空环境获得设备、低温泵应用于半导体、集成电路、光电器件的制造工艺过程，是集成电路专用设备中的关键设备之一；低温泵也应用于各种其它镀膜设备和真空应用设备中。