ZT双轴精密转台 | 慕尼黑上海电子生产设备展 productronica China

ZT双轴精密转台 | 慕尼黑上海电子生产设备展 productronica China ZT双轴精密转台,ZT Dual-Axis Precision Platform,测试测量和质量保证,柔性与印刷电子,系统级封装,慕尼黑上海电子生产设备展 productronica China 倾角误差±5.6 urad；直线轴重复定位精度 ±0.15µm；旋转轴重复定位精度±2.65arcsec。全气浮，纳米级精度；高动态性能；旋转+升降双轴运动；高负载、低型面高度紧凑设计。 GAS-ZT-10-120 搭载国奥科技自研的单动子双自由度电机解耦技术，实现单个动子同步输出直线（Z轴）与旋转（T轴）运动，双磁场无耦合干扰；配合全气浮轴承设计，替代传统机械接触，彻底消除多轴同步控制带来的精度丢失和累积误差，达成Z轴升降与T轴旋转的纳米级联动控制。【核心技术特性】单动子直线+旋转双轴复合运动双轴纳米级精度全气浮设计，全域无摩擦、零磨损高刚性结构，抗倾覆能力强模块化扩展，支持XYZT多轴联动紧凑设计集成大推力、大转距、高负载符合ISO 14644-1 Class 5以上半导体洁净室标准

产品介绍

ZT双轴精密转台

倾角误差±5.6 urad；直线轴重复定位精度 ±0.15µm；旋转轴重复定位精度±2.65arcsec。全气浮，纳米级精度；高动态性能；旋转+升降双轴运动；高负载、低型面高度紧凑设计。 GAS-ZT-10-120 搭载国奥科技自研的单动子双自由度电机解耦技术，实现单个动子同步输出直线（Z轴）与旋转（T轴）运动，双磁场无耦合干扰；配合全气浮轴承设计，替代传统机械接触，彻底消除多轴同步控制带来的精度丢失和累积误差，达成Z轴升降与T轴旋转的纳米级联动控制。【核心技术特性】单动子直线+旋转双轴复合运动双轴纳米级精度全气浮设计，全域无摩擦、零磨损高刚性结构，抗倾覆能力强模块化扩展，支持XYZT多轴联动紧凑设计集成大推力、大转距、高负载符合ISO 14644-1 Class 5以上半导体洁净室标准