ZTP模块 | 慕尼黑上海电子生产设备展 productronica Shanghai

ZTP模块 | 慕尼黑上海电子生产设备展 productronica Shanghai ZTP模块,,运动控制系统,慕尼黑上海电子生产设备展 productronica Shanghai ZT 平台是半导体领域核心设备，适用于晶圆检测、量测应用中的对焦和对准环节。 STM-ZT3-VD系盛泰奇设计的专用于晶圆旋转、升降精密对位的ZT平台，支持多轴联动，旋转范围±8°（可扩展）、双Z轴（粗调+精调，精调双向重复定位精度±0.5um（可扩展至±0.1um）），具备um级定位精度和纳米级定位稳定性和高响应快整定（音圈电机+DDR）特性，集成真空气路（用于晶圆固定）、重力补偿等功能，适配高端光刻、先进封装、晶圆检测与光学量测等场景，是半导体精密制造与检测的关键装备。

产品介绍

ZTP模块

ZT 平台是半导体领域核心设备，适用于晶圆检测、量测应用中的对焦和对准环节。 STM-ZT3-VD系盛泰奇设计的专用于晶圆旋转、升降精密对位的ZT平台，支持多轴联动，旋转范围±8°（可扩展）、双Z轴（粗调+精调，精调双向重复定位精度±0.5um（可扩展至±0.1um）），具备um级定位精度和纳米级定位稳定性和高响应快整定（音圈电机+DDR）特性，集成真空气路（用于晶圆固定）、重力补偿等功能，适配高端光刻、先进封装、晶圆检测与光学量测等场景，是半导体精密制造与检测的关键装备。