晶圆检测螺旋扫描三轴平台 | 慕尼黑上海电子生产设备展 productronica Shanghai 晶圆检测螺旋扫描三轴平台,Wafer inspection spiral scanning three-axis platform,电子制造服务,慕尼黑上海电子生产设备展 productronica Shanghai 产品用途: 晶圆缺陷检测 产品特性: 载物台气浮支撑,完全无摩擦,无磨损,无油污 亚微米级定位、重复定位精度 高性能驱动控制,实现变转速,等线速度运动 转台最大转速6000rpm,最大加速度1000rpm/s 匀速段跟随误差达到±0.003° Z轴动态跟随误差小于0.5um X轴动态跟随误差小于1um

产品介绍

晶圆检测螺旋扫描三轴平台
产品用途: 晶圆缺陷检测 产品特性: 载物台气浮支撑,完全无摩擦,无磨损,无油污 亚微米级定位、重复定位精度 高性能驱动控制,实现变转速,等线速度运动 转台最大转速6000rpm,最大加速度1000rpm/s 匀速段跟随误差达到±0.003° Z轴动态跟随误差小于0.5um X轴动态跟随误差小于1um
常规产品
产品分类:
电子制造服务
应用领域:
工业电子

展商信息

我们的展位号
W4 .
4117
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