真空微波等离⼦去胶机 | 慕尼黑上海电子生产设备展 productronica China 真空微波等离⼦去胶机,Vacuum Microwave Plasma Degumming Machine,电子制造服务,慕尼黑上海电子生产设备展 productronica China 晶圆尺⼨:4吋-12吋 微波电源功率:3KW,频率2.45GHz 容积 :100L/450×450×450mm 控制系统:PLC ⽓路配置标配氧⽓、氩⽓两路⼯艺⽓体(可定制CF4⽓体)

产品介绍

真空微波等离⼦去胶机
晶圆尺⼨:4吋-12吋 微波电源功率:3KW,频率2.45GHz 容积 :100L/450×450×450mm 控制系统:PLC ⽓路配置标配氧⽓、氩⽓两路⼯艺⽓体(可定制CF4⽓体)
常规产品
产品分类:
电子制造服务
应用领域:
工业电子
航空航天
军工

展商信息

我们的展位号
E5 .
5586
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