功率半导体SiC晶圆级动态WLR测试系统 | 慕尼黑上海电子生产设备展 productronica China

功率半导体SiC晶圆级动态WLR测试系统 | 慕尼黑上海电子生产设备展 productronica China 功率半导体SiC晶圆级动态WLR测试系统,Power Semiconductor SiC Wafer-Level Dynamic WLR (Wafer-Level Reliability) Test System,电子制造服务,慕尼黑上海电子生产设备展 productronica China 1、应用于6,8 英寸 SiC MOSFET 晶圆老化测试，温度范围最高 200℃ 2、支持DHTGB，DHTRB，HTGB，HTRB测试模式在线切换，高效覆盖器件完整测试流程 3、动态参数精准可调，dVgs/dt可达0.3~1V/ns；dVds/dt可达20~50V/n 4、Vgsth测试兼容GD短接方案和双SMU方案，满足多样化测试要求，确保更高的测试灵活性和兼容性

产品介绍

功率半导体SiC晶圆级动态WLR测试系统

1、应用于6,8 英寸 SiC MOSFET 晶圆老化测试，温度范围最高 200℃ 2、支持DHTGB，DHTRB，HTGB，HTRB测试模式在线切换，高效覆盖器件完整测试流程 3、动态参数精准可调，dVgs/dt可达0.3~1V/ns；dVds/dt可达20~50V/n 4、Vgsth测试兼容GD短接方案和双SMU方案，满足多样化测试要求，确保更高的测试灵活性和兼容性