六自由度平台，六足滑台，适用于半导体行业 | 慕尼黑上海电子生产设备展 productronica China

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产品介绍

六自由度平台，六足滑台，适用于半导体行业

HEXAPOD (6-DOF STAGE) JHX 六自由度平台是我司在韩兄弟公司mentor自行研发生产的高精度对位平台，广泛应用于半导体行业，其可实现X±16mm ǀ Y±16mm ǀ Z± 6 mm(12 mm) ǀ θX± 8 ° ǀ θY± 8 ° ǀ θZ± 20 °六个轴向的自由精度位移，可实现最小增量：X 0.1μm ǀ Y 0.1μm ǀ Z 0.1μm ǀ θX µrad(0.0001°)ǀ θY µrad(0.0001°) ǀ θZ µrad(0.0001°)，重复定位精度：X± 0.9 µm ǀ Y± 0.9 µm ǀ Z± 0.9 µm ǀ θX ± 20 µrad(0.001°)ǀ θY ± 20 µrad(0.001°) ǀ θZ± 30 µrad(0.0015°) 的高精度位移需求，是半导体行业必不可少的得力助手！