全自动显微镜级晶圆 AI-AOI 检测设备 OM | 慕尼黑上海电子生产设备展 productronica Shanghai

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产品介绍

全自动显微镜级晶圆 AI-AOI 检测设备 OM

简介：用于半导体 4-12 寸 wafer 自动显微测量与宏观检测。宏观检测：·wafer 正反面宏观检测 ·脏污 >100um ·划痕 >100um ·崩边缺 >0.25mm*0.25mm ·溢胶 ·色差等微观检测：·CD/0verlay/RDL量测标准差 ·<0.3um (50x) ·EBR 测量范围 :2mm(5X) ·GRR<10% 亮点：1.智能识别加速 2.一体化全检 3.微观高精测量 4.智能化质量管控