产品介绍
静电卡盘
静电卡盘（ESC）是一种利用静电吸附替代传统机械夹持、真空吸附方式的优势技术，在半导体、面板显示、光学等领域中有着广泛应用。
优 势：加工一致性高、机械强度高、抗等离子侵蚀性强、可定制化
类型：库仑型和J-R型
库仑型静电卡盘，对静电卡盘施加高压直流电时，陶瓷介电层上表面与被吸附产品间产生极性相反的极化电荷，形成了静电吸引力，实现吸附固定。
J-R型静电卡盘，对静电卡盘施加高压直流电时，陶瓷介电层中带电离子迁移并聚集在上表面，在静电卡盘与被吸附产品间形成了很强的电场，实现吸附固定。
应用场景：等离子刻蚀设备、离子注入设备、物理气相沉积设备、化学气相沉积设备
常规产品
产品分类：
电子制造服务
应用领域：
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展商信息
我们的展位号
W3
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