三氟化氯

产品介绍

三氟化氯

三氟化氯，是一种无机化合物，化学式为ClF3，主要用作氟化剂、燃烧剂、推进剂中的氧化剂、高温金属的切割油。三氟化氯/ClF3在半导体工艺中的应用： 1.ClF₃主要用作刻蚀剂，特别适用于硅氧化物和氮化硅的刻蚀。其氧化性使其能够选择性地去除材料，同时控制刻蚀速率。 2.在半导体制造中，ClF₃用于清洗刻蚀设备和其他生产设备表面，以去除残留的污染物和氧化物。 3.ClF₃可作为氟源，在某些气相沉积工艺中用于生成氟化物薄膜。氟化物在高频电路和低损耗电路中具有重要应用。 4. 替代气体：ClF₃被研究作为替代某些传统氟化物（如三氟化硫）的选择，旨在降低氟化物对大气层的破坏。