Reticle多用途缺陷检测设备 CFY210 | 慕尼黑上海电子生产设备展 productronica Shanghai

Reticle多用途缺陷检测设备 CFY210 | 慕尼黑上海电子生产设备展 productronica Shanghai Reticle多用途缺陷检测设备 CFY210,CFY210 Multi-Purpose Reticle Defect Inspection System,测试测量和质量保证,慕尼黑上海电子生产设备展 productronica Shanghai CFY210 是一款专为 MaskShop/Blank 打造的多用途缺陷检测设备，可覆盖 Blank 石英基板、镀膜、涂胶等全制程，以及 Maskshop的ADI/AEI 工艺站的缺陷检测，可高分辨率精准识别 particle及pinhole 缺陷。它支持 Die2DB/Particle 两种检测模式，采用透射 / 反射 / 散射等光学方案，适配 6025 规格 Reticle，支持 SMIF Pod 自动开盒 / 自动上下料，同时兼容 Blank 厂的传输盒（5 层）与 SMIF 盒（6 层），满足超高洁净度生产环境的传输需求。设备检测能力可达 200 纳米，检测速度最高可达 4 分钟 / 片，在保障检测稳定性与高产能的同时，为光罩制造全流程质控提供可靠支撑，助力客户提升良率、降低生产成本。

产品介绍

Reticle多用途缺陷检测设备 CFY210

CFY210 是一款专为 MaskShop/Blank 打造的多用途缺陷检测设备，可覆盖 Blank 石英基板、镀膜、涂胶等全制程，以及 Maskshop的ADI/AEI 工艺站的缺陷检测，可高分辨率精准识别 particle及pinhole 缺陷。它支持 Die2DB/Particle 两种检测模式，采用透射 / 反射 / 散射等光学方案，适配 6025 规格 Reticle，支持 SMIF Pod 自动开盒 / 自动上下料，同时兼容 Blank 厂的传输盒（5 层）与 SMIF 盒（6 层），满足超高洁净度生产环境的传输需求。设备检测能力可达 200 纳米，检测速度最高可达 4 分钟 / 片，在保障检测稳定性与高产能的同时，为光罩制造全流程质控提供可靠支撑，助力客户提升良率、降低生产成本。