图形晶圆缺陷检测设备（820系列） CFW820 | 慕尼黑上海电子生产设备展 productronica Shanghai

图形晶圆缺陷检测设备（820系列） CFW820 | 慕尼黑上海电子生产设备展 productronica Shanghai 图形晶圆缺陷检测设备（820系列） CFW820,CFW820 Pattern Wafer Defect Inspection System (Series 820),测试测量和质量保证,慕尼黑上海电子生产设备展 productronica Shanghai CFW820是一款用于FAB产线缺陷监控的光学检测设备，可应用在 CMP/OQC 等多个工艺站，能够帮助客户快速筛选产线上影响产品质量的典型图形缺陷和表面缺陷，确保各种工艺稳定运行。 CFW820 拥有超高的 wafer 传输兼容性，可兼容 Thin/Taiko/Standard wafer 片，配置多种光学放大倍率，行业首创的双腔设计具备双通道并行检测能力，能够兼顾检测灵敏度和吞吐率（同等检测分辨率下，吞吐率是竞品的 1.5 倍），搭配灵活易用的 recipe 管理功能与可视化 fine tune 功能，助力客户产线制程良率提升，已获得客户高度认可.

产品介绍

图形晶圆缺陷检测设备（820系列） CFW820

CFW820是一款用于FAB产线缺陷监控的光学检测设备，可应用在 CMP/OQC 等多个工艺站，能够帮助客户快速筛选产线上影响产品质量的典型图形缺陷和表面缺陷，确保各种工艺稳定运行。 CFW820 拥有超高的 wafer 传输兼容性，可兼容 Thin/Taiko/Standard wafer 片，配置多种光学放大倍率，行业首创的双腔设计具备双通道并行检测能力，能够兼顾检测灵敏度和吞吐率（同等检测分辨率下，吞吐率是竞品的 1.5 倍），搭配灵活易用的 recipe 管理功能与可视化 fine tune 功能，助力客户产线制程良率提升，已获得客户高度认可.