氮化铝陶瓷发热体

产品介绍

氮化铝陶瓷发热体

氮化铝是一种多功能材料，最常用于需要高导热性和电绝缘性的场景。这种独特的能力，使AIN成为快速加热、散热的理想选择。如氮化铝陶瓷发热体（heater）、氮化铝陶瓷晶圆托盘/吸盘等。产品特点热导率：热导率为氧化铝陶瓷的10倍，热导率接近金属铝。升温速度快：室温25℃在6秒内达到600℃；温度均一性好：温差±5℃以内。强度：抗弯强度310-350 MPa；硬度：HRA 89；体积电阻率：＞10¹³ Ω.cm。稳定性：氮化铝陶瓷的熔点为2450℃, 在2000℃以内的高温非氧化气氛中稳定性好。优良的介电常数和低的介质损耗。尺寸：Ø 5，Ø 9×34，Ø 50 mm（可定制化）。应用领域半导体用：静电卡盘，蚀刻，化学气相沉积，抛光；医疗设备：加热，雾化；其他应用：用于其他要求升温速度快，温度均一性好的场景。