6kW射频电源/6kW专业型匹配器 | 慕尼黑上海电子生产设备展 productronica China

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产品介绍

6kW射频电源/6kW专业型匹配器

射频电源主要是用于产生固定频率的正弦波电压，是一种频率在射频范围内、具有一定功率的电源发生设备。设备采用全固态射频功放技术，是半导体生产制造、 LED与太阳能光伏产业、科学实验中的等离子体发生、射频感应加热、医疗美容、常压等离子体消毒清洗等行业不可或缺的设备，主要应用包括射频溅射、反应离子刻蚀、射频偏置、多态等离子体、等离子体表面处理、电感耦合和射频激光等离子体系统中。频率：13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 功率：1kW/1.5kW/3kW/6kW/12kW/20kW或定制 ADP13/27XXXP系列专业型自动匹配器适用于半导体刻蚀、薄膜沉积、光伏LED等需要高性能高精度的应用场景。采用高精度的VI测量技术、采用高速FPGA进行阻抗计算和匹配调节控制，可以实现极快速的匹配调节及极高的匹配精度，匹配状态下可实时跟踪负载阻抗变化并进行实时调节，反射功率可保持小于输入功率的1%o。该设备具有匹配速度快、匹配精度高等优点。