20kW 射频电源 / 20kW ICP专业匹配器 | 慕尼黑上海电子生产设备展 productronica China

20kW 射频电源 / 20kW ICP专业匹配器 | 慕尼黑上海电子生产设备展 productronica China 20kW 射频电源 / 20kW ICP专业匹配器,,电子制造服务,慕尼黑上海电子生产设备展 productronica China 德芯科技高性能射频电源采用高性能功放电路、高精度VI检测、全数字化高速功率控制，可实时显示输出、反射功率及负载阻抗，控制电路对功率进行快速动态调节可在负载变化时仍保持输出平稳，支持连续、脉冲输出及相位同步功能，且具有快速电弧检测及抑制能力，能有效的保护负载及电源本身。可广泛应用于半导体、光伏、显示面板、等离子科研等领域。 ADP13/27XXXP-I系列ICP专业型自动匹配器适用于ICP型负载，外形尺寸更小，更便于安装。采用高精度的VI测量技术、采用高速FPGA进行阻抗计算及进行匹配调节控制，可以实现极快速的匹配调节及极高的匹配精度，匹配状态下可实时跟踪负载阻抗变化并进行实时调节，反射功率可保持小于1%o输入功率。该设备具有匹配速度快、匹配精度高等优点。

产品介绍

20kW 射频电源 / 20kW ICP专业匹配器

德芯科技高性能射频电源采用高性能功放电路、高精度VI检测、全数字化高速功率控制，可实时显示输出、反射功率及负载阻抗，控制电路对功率进行快速动态调节可在负载变化时仍保持输出平稳，支持连续、脉冲输出及相位同步功能，且具有快速电弧检测及抑制能力，能有效的保护负载及电源本身。可广泛应用于半导体、光伏、显示面板、等离子科研等领域。 ADP13/27XXXP-I系列ICP专业型自动匹配器适用于ICP型负载，外形尺寸更小，更便于安装。采用高精度的VI测量技术、采用高速FPGA进行阻抗计算及进行匹配调节控制，可以实现极快速的匹配调节及极高的匹配精度，匹配状态下可实时跟踪负载阻抗变化并进行实时调节，反射功率可保持小于1%o输入功率。该设备具有匹配速度快、匹配精度高等优点。