12kW 射频电源/12kW ICP专业型匹配器 | 慕尼黑上海电子生产设备展 productronica China

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产品介绍

12kW 射频电源/12kW ICP专业型匹配器

新品上市 DX-RFS-13120 12kW 射频电源支持13.56/27.12MHz, 最大输出功率：12kW 射频电源主要是用于产生固定频率的正弦波电压，是一种频率在射频范围内、具有一定功率的电源发生设备。主要应用包括射频溅射、反应离子刻蚀、射频偏置、多态等离子体、等离子体表面处理、电感耦合和射频激光等离子体系统中。设备采用全固态射频功放技术，是半导体生产制造、LED与太阳能光伏产业、科学实验中的等离子体发生、射频感应加热、医疗美容、常压等离子体消毒清洗等行业不可或缺的设备。 ADP13/27XXXP-I系列ICP专业型自动匹配器适用于ICP型负载，外形尺寸更小，更便于安装。采用高精度的VI测量技术、采用高速FPGA进行阻抗计算及进行匹配调节控制，可以实现极快速的匹配调节及极高的匹配精度，匹配状态下可实时跟踪负载阻抗变化并进行实时调节，反射功率可保持小于1%o输入功率。该设备具有匹配速度快、匹配精度高等优点。